根据集束型装备的不同特征,可以对其调度问题进行详细分类。借用经典生产系统分类法, RLF7030T-3R3M4R1给出了针对集束型装备调度问题的三邻域(α/'//),其中参数α定义了系统物理特征,参数'定义了晶圆加工特征,参数γ则定义了问题优化目标。

   系统物理特征

   CTF表示流水线集束型装备(C1ustcr Took Flowshop)。r99代表加工步骤的数目,向量中的每个值代表对应的加工步骤并行模块数的量;'代表机械手数目;集束型装备提供几个装载室作为输入/输出缓冲模块,表示每个集束型装各缓冲模块数目;机械手类型分为单臂、同向双臂、反向双臂及三臂机械手,g=1和g=2分别表示单臂和双臂机械手;集束型装备的加工模块位置可分为线性、半圆形和环形分布,大多数集束型装备采用的是环形分布,也称星形分布,用符号`=@表示。