电压斜坡(V-ramp)和电流斜坡(J-ramp)测量技术
发布时间:2017/11/17 22:05:21 访问次数:6473
电压斜坡(V-ramp)和电流斜坡(J-ramp)测量技术
在制造业环境中,TDDB测试太费时而不适合作为制程监控方法。电压斜坡测试(Ⅵrtamp),UDA1334ATS/N2是一种常用的测试方法,见图15,10。由0开始一直加大电压直到栅氧化层崩溃,对侦测缺陷的分布是一种很有效的方法,但不适合用做本质的分布(irlthn蚯c pc,puh"o11)测试。测试中使用的另一个氧化层监测方法是电流斜坡测试(Jframp)或Jxr测试,兀图15.11。在这个测试中,持续加大电流直到崩溃,J※r即为总击穿电荷密度。此测试对氧化层的品 质是很好的快速测试方法。
电压斜坡(V-ramp)和电流斜坡(J-ramp)测量技术
在制造业环境中,TDDB测试太费时而不适合作为制程监控方法。电压斜坡测试(Ⅵrtamp),UDA1334ATS/N2是一种常用的测试方法,见图15,10。由0开始一直加大电压直到栅氧化层崩溃,对侦测缺陷的分布是一种很有效的方法,但不适合用做本质的分布(irlthn蚯c pc,puh"o11)测试。测试中使用的另一个氧化层监测方法是电流斜坡测试(Jframp)或Jxr测试,兀图15.11。在这个测试中,持续加大电流直到崩溃,J※r即为总击穿电荷密度。此测试对氧化层的品 质是很好的快速测试方法。
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相关技术资料- 11-17电压斜坡(V-ramp)和电流斜坡(J-ramp)测量技术
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