Rcgression(凵归分析)是常用的研究response和hctor之问数量关系的方法。很多时TA8429H候,仅有定性的了解(相关性的强弱)对于具体问题的解决是不够的,量化的研究分析是必要的。

    如图17.36所示,产品上观察到有明显的leakage问题,呔W^\T数椐nT以看到NM()S和PM()s的leakage wafer mal)有较强的相似跬∷戋于XXˉ\T011丿仃inlinc测试(例如MD,比产品的测试结果提前几同.如果能住△冖l的:c。k:g辶布、\T的`P iζf=kagc11建立量化的模型,那么能提前数同就发现产品的lcakagt司题J⒈采取相应的⒈艺改善措施:图下方是一个简单的线性关系模型.其中o.”・t是∷个待定常数。

   图1736 Regrcssion应用案例

   利片历史数据对产品的leakage和N/P MΘSle狄age进行建模后,采用一批新的数据进行模型准确度的比较。图17.37演示了对于图17,36做rcgression之后建立的模型对丁实际数据的预测能力,从图上看预测是比较准确的。于是可以利用M1的WAT数据・提前预测产品的1cakage性能表现,对于Πl艺改善的速度有很大提高。

   T-test是常见的两组数据均值的比较方法,可以用于检验I艺、设备、量测等的,E配是否在统计上有着显著差别。