一般工艺线卜采用trend chart.b°xplot等方式对于两组样本数据进行直观的比较。TC1047AVNBTR不过由于异常点等噪声十扰T程人员的判断,有时惠接从图表上看不出明显的区别。此时,借助T test这种简单的统计方法,可以帮助T程人员进行判断。

   如图17.38所示.直接从trend cl)ar1上,很难看出wafer的center和cdge的Rsl×别是否帚著。不过从孓1est结果,夕=0.O1<0.05(在很多△程领域夕<0.0弓作为显荠性的标志),意味着从统计L讲,它们的差别是显著的。

   在T―test分析时,需要验证・些假设,如数据样本之间的独立性和数据分布的正态性竿:这里不进行深人讨论,关于T―tcs1分析的原理有兴趣的渎者请参阅相关统计书籍,使用请参阅cxcd帮助文档T test函数部分。需要意的是,统计意义的显著性和I程意义的显著性的区别。例如,I程分析人员发现,花费额外1㈠○0美元/wafer的制程改善,确实能改善0.01%的yield。这0.01%的改善也许从统计意义L是混著的,不过从T程意义上讲完仝不值得为此做这么昂贵的投人。