通常,不同的类别,背后的物理机制不同。对于单个类别再进行更进一步的细化分析(correiati°n,commonality等)会更加有效。

   Classificati。n需要有专业的软件平台支持,利用数据在统计上的相似性,TLE6244X而非工程人员的主观判断来决定类别的划分。优秀的dassihcati°n软件能极大地提高分析的效率,降低对于T程人员经验和专业知识的依赖。

   通常在△艺线上,excursi°n的根源追溯往往比较困难,主要原因是大多excursi。n是低溉率事件,样本量很小时有效信息不足,但是excursion累积足够多时,各种不同机理的excursion混杂在一起,难以甄别。图17.35是一个典型的dassfication分析案例。当积累的wafcr数量很多时,找出典型的excursiongroup,有针对性地逐一分析、解决。