PEM在ic失效分析中的应用包括以下几方面
发布时间:2017/11/14 20:45:58 访问次数:578
PEM在ic失效分析中的应用包括以下几方面。
PEM用于缺陷检测PIC16F688-I/SL
Shade把器件失效情况和发光情况的联系分为四类,如表14.1所示。
表14,1 器件失效与发光的联系
结对外加较大电压时,空间电荷区的电场较强,多数与反偏PN结相关的效应都有这种发光机制;工是电子空穴对辐射复合发光(艮PE),如CM()S电路中的闸锁失效引起的发光,发生闩锁时,两个寄生晶体管的发射结都正偏,寄生晶体管中流过很大的电流,从Fl产生发光,这时的结电流主要是耗尽区中注人载流子的复合。器件失效分析中大多数发光点来源于反偏结相关的效应。
PEM在ic失效分析中的应用包括以下几方面。
PEM用于缺陷检测PIC16F688-I/SL
Shade把器件失效情况和发光情况的联系分为四类,如表14.1所示。
表14,1 器件失效与发光的联系
结对外加较大电压时,空间电荷区的电场较强,多数与反偏PN结相关的效应都有这种发光机制;工是电子空穴对辐射复合发光(艮PE),如CM()S电路中的闸锁失效引起的发光,发生闩锁时,两个寄生晶体管的发射结都正偏,寄生晶体管中流过很大的电流,从Fl产生发光,这时的结电流主要是耗尽区中注人载流子的复合。器件失效分析中大多数发光点来源于反偏结相关的效应。
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