(1)膜厚

   一般铬膜厚度控制在100nm左右。通常是ACT212利用透光量随膜厚的变化这一特点来控制其厚度的,生产时通过钟罩窗口观察透过铬层的白炽灯丝的亮度,当呈咖啡色时即可。只要在生产中不断总结经验,铬膜的厚度是不难控制的。

   若铬膜太薄,则会因反差不够而漏光,这就影响了光刻的质量;反之,若铬膜太厚则会由于图形边缘光的散射降低r分辨率。此外,由于表面张力的关系.容易产生针孔.

   (2)均匀性

   钼舟加热器在真帘蒸发时会使蒸发物质出现方向性,这就影响了铬膜厚薄的均匀性。囚此,生产中就须通过选择一定的加热器形状和尺寸,以及调节玻璃与蒸发源之间的位置和距离或采用蒸发源均匀分布的方法,以获得厚薄均匀的铬膜。

   (3)针孔

   影响铬膜针孔的囚素很多,其中玻璃表面的不清洁是一个最基本的原因。囚此,除了应保持恒温干燥箱、真空室的高度清洁外,还必须对玻璃进行严格的表面清洁处理。此外,蒸发源的纯度也是一个十分重要的囚素。加热器中的杂质可能会沾污蒸发源或直接沉积到玻璃上而沾污沉积层,而且加热器的热辐射也叮能会使其附近部分的温度升高而放出吸附的杂质玷污沉积层。

   由于表面张力的关系,铬膜太厚也会产生针孔。当铬版突然冷却时也会由于铬与玻璃的膨胀系数不一而引起针孔,因此,一般最好采用自然冷却的方法。另外,真空度的突然降低,如取铬版时,对真空室快速放气,也会产生针孔。