硅是金刚石结构晶胞,是由两套面心立方格子套构而成的复式格

子,面心立方格子属于立方晶系。G1117T63UF所以,以简立方晶格为基础来标记晶向、晶面。晶向的表示方法如图⒈3所示,以格点O为原点,坐标轴J,γ,z和晶胞的3个边(晶轴)重合,C,R为连接晶列中相邻格点的一矢量,它在J,y,z方向上的分量相等,都等于晶格常数仍,如以曰为单位,则有P/zl=9,z=PPz,=',o⒋方向晶列的晶向指数就为E111彐。实际上,[111彐就是立方对角线的方向,这个方向共有8个等价方向,即还有 丫E111]、E1】1]、E111]、E111]、[111彐、E111]、[111彐,可以用〈111〉来概括表示这族等价方向。同理,OB方向晶列的晶向指数为E110],〈110〉晶向 共有12个等价方向;OC方向晶列的晶向指数为匚100],〈100〉晶向也共有6个等价方向。在集成电路工艺中硅的常用晶向分别为E111彐、E110彐、E100彐晶向。

   对于简立方晶格,如图⒈4所示是立方晶系的几种主要晶面。不难看出图⒈4中阴影所示的3个晶面分别为(100)、(110)和(111)晶面。由晶格的对称性,有些晶面是彼此等效的,如晶面(100)有6种等效晶面,即还有(100)、(010)、(010)、(001)、(001),记为{100)晶面族;晶面(110)有12种等效晶面,记为(110)晶面族;晶面(111)有8种等效晶面,记为(111)晶面族。在集成电路工艺中硅片常采用的晶面有3种类型,即(111)、(110)、(100)晶面。