电感加热器。它是利OP497G用电感在导电的金属源中产生的涡流电功率来对源加热的。电感加热器示意图如图⒏13所示,一般由氮化硼(BN)制成坩埚,金属线圈绕在坩埚上,在这个线圈上加载射频功率,坩埚内的源材料中就感应出涡流电流,电热使源蒸发。线圈本身用水冷,保持温度低于100℃,有效地避免了线圈材料的损耗。

   电感加热器可以用于蒸发难熔金属,如钛、钨、钼、钽、铂等。相对于电阻加热器而言,蒸镀薄膜纯净,但电感加热器功耗更大。

   电子束加热器。它是利用高能电子束轰击源材料,以此为源提供能量使其蒸发的。电子束加热器示意图如图814所示,从坩埚下面的电子枪中喷射出有一定强度的高能电子束,用强磁场将束F束 流弯曲270°使之轰击蒸发源表面,源材料受电子束轰击,获得能量,蒸发。

   采用电子束加热器的蒸镀一般称为电子束蒸镀,这种蒸镀方法可以制备的薄膜材料范围很广,难熔金属、在蒸发温度不分解的化合物,以及合金等都能容易地从电子束中获取能量而蒸发,如钨、铂、氮化钛等。而且电子束蒸镀所制各的薄膜较电阻加热方法制备的薄膜更纯净。但是,采用电子束加热器蒸发所制各的薄膜,特别要注意辐射对衬底的损伤。辐射是由于蒸发原子在获取电子束能量时有电子跃迁至激发态能级,当其退回基态能级而产生的,由于X射线能损伤衬底和电介质,电子束蒸镀不可用于对辐射损伤灵敏的衬底。