当前,蒸镀设备主要采用的加热器类型及性能特点如下。

   ①电阻加热器。它是利OP27GS用电功率为源提供能量使源蒸发的。加热器材料多为难熔金属,如钨、钼、钽等,制成螺旋式、锥形篮式、舟式、坩埚式等式样,各种形状的电阻加热器结构如图812所示。

   选择加热器材料时应考虑材料熔点应高,饱和蒸气压应低,化学性能应稳定。而加热器的形状应视蒸发源形状而定,丝状的源(如铝丝、金丝)可以挂在螺旋式加热器上;颗粒状或块状的源(如铬粒)可以放置在锥形篮式加热器上;粉末状源(如银粉)可以摆放在舟式或坩埚式加热器上。

   蒸发源对加热器材料是否浸润也非常重要。源在加热器上受热熔化后有扩展倾向时,浸润性好,蒸发面大,认为是面蒸发。而源受热熔化后不能在加热器上扩展时,浸润性差,认为是点蒸发。在浸润的情况下,蒸发源与加热器材料相容,因而蒸发状态稳定,特别对丝状蒸发源来说,浸润性更重要,如果浸润性差,熔化的源易从加热器上脱落。例如,银丝用钨丝制成的螺旋式加热器蒸镀时,熔融银

对钨的浸润性差,非常容易脱落,因此,一般使用钼舟作为镀银的加热器。电阻加热器结构简单、使用方便,但不能用于蒸镀某些难熔金属和高熔点氧化物材料,加热器材 料的痕量挥发会给所制各的薄膜带来污染,高温加热器甚至会熔断。