监测系统是由对薄膜厚度、淀积速率、薄膜结构、成分等进行实时监测的装置组成的,配备的装置种类越多,系统功能就越强,设备构造也就越复杂、 OP262HRU-REEL造价也就越昂贵。蒸镀设备最常配置的是石英测厚(速)仪,仪器的石英晶体谐振板在谐振频率下振荡,当其表面淀积了薄膜时,谐振板质量的增加使得频率发生偏移,通过测量频率的偏移可以得出薄膜厚度和淀积速率。

   控制台是任何蒸镀系统必不可少的组成部分,是进行真空蒸镀的操作平台。它主要包括电控部分和机械部分。

   在真空蒸镀设备中,源加热器是设备的核心部分,加热方式代表了蒸镀工艺的发展水平,工艺方法也往往按照加热方式的不同来划分,如用电阻器加热源的蒸镀称为电阻蒸镀,用电子束加热器加热源的蒸镀称为电子束蒸镀等。