横向效应指的是注人离子在垂直入射方向的平面内的分布情况。PG127S17考虑窗口边缘处人射离子的浓度分布,假定掩膜窗口宽为杨,在窗口区(一伢,+曰)内,注入离子的剂量是恒定的,在掩膜窗口外的区域无离子透过掩膜。当窗口的宽度比横向分量的离散大很多时,可近似用余误差函数来表示沿横向的分布函数,如图69(bl所示。可以看到,在掩膜窗口内侧,离子浓度较窗口中央也有减少;而在掩膜窗口边缘,离子浓度降低至最大值的一半;而距离大于+〃或小于一曰时,各处的浓度按余误差函数规律下降。

   在垂直于离子入射方向J的平面内选定y轴和z轴,如 图61o 四廴在y轴和氵轴的两个分量 图610所示是Ⅳt在y轴和z轴的两个分量,分别用AR,和巫匕表示。对于各向同性的非晶靶,显然y轴和z轴分量的平均值囚廴y帆≈都应等于零,而且面匕2和巫;y2相等。

   表61给出了硅靶中几种离子的RP、腿P及AR⊥的理论计算值相等。

   表6-1 硅靶中几种离子的RP、ARP及AR⊥的理论计算值