离子注人的杂质分布与扩散不同。如上所述,即使相同能量的离子,其路径和射程也有所不同, PG124S15导致射程分布的统计特征。对一定剂量的离子束,其能量是按概率分布的,所以杂质分布也是按概率分布的。注人离子在靶内分布与注人方向有着一定的关系,一般来说,离子束的注人方向与靶表面垂直方向的夹角比较小-通常假设离子束的注人方向垂直靶表面。

   进人靶内的离子.在同靶内原子核及电子碰撞过程中,不断损失能量,最后停止在某一位置。任何一个入射离子,在靶内所受到的碰撞是一个随机过程。虽然可以做到只选出那些能量相等的同种离子注入,但各个离子在靶内所发生的碰撞、每次碰撞的偏转角和损失的能量、相邻两次碰撞之间的行程、离子在靶内所运动的路程总长度以及总长度在人射方向的投影射程(注入深度)都是不相同的。 如果注人的离子数量很小,它们在靶内分布是很分散的;但是,如果注人大量的离子,那么这些离子在靶内将按一定统计规律分布。