二氧化硅的物理化学性质稳定,不溶于KA555DTF水也不跟水反应。其典型的物理性质如下:

   ①石英晶体熔点为1732℃,而非晶态的二氧化硅薄膜无熔点,软化点为1500℃;

   ②热膨胀系数为0.5×106/℃;

   ③电阻率与制备方法及所含杂质有关,高温干氧方法制作的氧化层电阻率可达10“Ω・cm,一般情况下在107~10ⅡΩ・cm之间;

   ④密度是sK`致密程度的标志,密度大意味着致密程度高,为2~2,2酽cm3;

   ⑤介电性特性,介电常数为3,9,介电强度为100~1000V/um;

   ⑥折射率在1.33~1.37之问。

   二氧化硅的化学性质不活泼,是酸性氧化物。它不与除氟、氟化氢和氢氟酸以外的卤素、卤化氢和氢卤素以及硫酸、硝酸、高氯酸作用。氟化氢(氢氟酸)是唯一可使二氧化硅溶解的酸,生成易溶于水的氟硅酸;跟热的强碱溶液或熔融的碱反应生成硅酸盐和水;跟多种金属氧化物在高温下反应生成硅酸盐。