外延置艺是受气相质量传递过程和表面外延过程所控制的,所以外延生κ速率也就主要由这两个过程中较慢的一方决定。

   温度对生长速率的影响

   气相质量传递过程的快慢主要由外延剂气相扩散穿越边界层的速度决定。冷壁式LD1117S50CTR外延反应器中的温度分布。主流气体温度远低于外延温度,但也远高于室温,边界层与基座接触一侧的温度最高,是外延温度,温度梯度主要集中在边界层内。

   在式(3△3)中,气相扩散系数Dg是表征气相物质在边界层中扩散快慢的参数,是温度的函数,有DR为边界层的平均温度,温度升高扩散系数增加。边界层的厚度a岜是温度的函数,温度升高,气体分子的热运动加剧,气体黏度略有增大;而气体密度随温升而降低却更显著。例如,温度由700℃升高至1200℃时,氢气黏度由200×1O6酊(cm・s)增加到250×1O6g/(cm・s).