透射电子显微镜(Transmissioll Electron Microscopc,TEM),简称透射电镜,第一台TEM由马克斯・克诺尔和恩斯特・鲁斯卡于1931年研制而成,是以波长极短的电子束为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨、 ADP3309高放大倍数的电子光学仪器。TEM由电子光学系统、电源与控制系统以及真空系统3部分组成。

   透射电镜的原理是把经加速和聚集的电子束投射到一定厚度的样品上,电子与样品中的原子发生碰撞改变方向,产生立体角散射。散射角的大小与样品的本身性质,如密度、 厚度等相关,因此可以形成具有不同对比度的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来,如图⒈31所示。

   由于电子的德布罗意波长非常短,TEM的分辨率比光学显微镜高的很多,可以达到01nm左右,放大倍数高达几万到百万倍。因此,使用透射电子显微镜可以观察样品的精细结构,甚至可以观察材料中原子的排列,比光学显微镜所能够观察到的最小结构小数万倍。TEM在物理学和生物学等相关诸多科学领域都是重要的表征分析方法,是材料科学、纳米技术、半导体结构分析的重要手段。