由于在探头保持恒定高度扫描时很有可能撞到表面造成损伤,所以通常会通过反馈系统来实现探头与样品片表面的距离恒定。传统设备中,ADP3308样品被放在压电管上并可以在z方 向移动以保持与探头之间的恒定距离,在x、y方向上移动来实现扫描。或者采用一种“三脚架”技术,在3个方向上实现扫描,这种方法部分抑制了压电管扫描时所产生的扭曲效应。在较新的设计中,探针被装载在垂直压电扫描器上,ADP3211AMNR2G而用另外的压电结来扫描样品的艿和`方向。扫描的结果z=/←,D就是样品的形貌图,如图l-30所示。

   AFM可以在不同模式下运行。这些模式可以被分为静态模式(Static M0dc),也称接触模式(Contact Modc),或其他一系列动态模式(Dynamic Modc),如非接触模式(Non~ContactModc)、轻敲模式(Tapping Modc)、侧向力模式 (Latcral F0rcc Modc)。

   在采用接触模式时,探针与样品表面直接接触,测量两者之间的斥力可获得测试图像。在轻敲模式中,探针以一定的频率轻敲样品表面,通过测量探针的位置来获得图像。在非接触模式中,探针在样品表面上方作谐振运动,测量探针与样品表面之间的斥力以获得样晶表面的图像。探针在扫描样品表面时,需要有精密的反馈系统来维持压电扫描装置具有恒定的力,或维持该装置与样品表面的距离恒定。当探针扫描样品表面时,一束聚焦的激光束打在连接探针的悬臂上并发生反射,反射光束被探测器侦测。来自探测系统的反馈经

控制软件分析,输出指令来维持探针保持恒力状态或恒高度状态,最终实现对样品表面的探测。