原子力显微镜激光束反射探测原理
发布时间:2016/7/31 16:07:36 访问次数:464
AFM悬臂的大小在数十至数百微米,通常由硅或者氮化硅构成,其上装有探针,探针尖端的曲率半径在纳米量级。当探针被放置到样品表面附近时,ADM812悬臂上的探针头会因受到样品表面的范德瓦耳斯力而弯曲偏移。偏移由射在微悬臂上的激光束反射至光敏二极管阵列而测量到(如图1-29所示),较薄的悬臂表面常镀有反光材质以增强反射。其他方法还包括光学干涉法、电容法和压电效应法u刨。这些探头通常采用压电效应的变形测量器制成。通过惠斯登电桥,探头的形变可以被测得,不过这种方法没有激光反射法或干涉法灵敏。
图⒈29 原子力显微镜激光束反射探测原理
AFM悬臂的大小在数十至数百微米,通常由硅或者氮化硅构成,其上装有探针,探针尖端的曲率半径在纳米量级。当探针被放置到样品表面附近时,ADM812悬臂上的探针头会因受到样品表面的范德瓦耳斯力而弯曲偏移。偏移由射在微悬臂上的激光束反射至光敏二极管阵列而测量到(如图1-29所示),较薄的悬臂表面常镀有反光材质以增强反射。其他方法还包括光学干涉法、电容法和压电效应法u刨。这些探头通常采用压电效应的变形测量器制成。通过惠斯登电桥,探头的形变可以被测得,不过这种方法没有激光反射法或干涉法灵敏。
图⒈29 原子力显微镜激光束反射探测原理
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