在放大倍数较低的时候,TEM成像的对比度主要由材料的不同厚度和成分对电子吸收不同造成的。ADS1230而当放大率倍 数较高时,复杂的波动作用会造成成像亮度的不同,因此需图⒈31 透射电镜成像示意图 要专业知识对得到的图像进行分析。透射电子显微镜的成像原理可分为3种。

    吸收像:当样品的质量大、密度大时,电子入射到样品上的主要成像原理是散射作用。样品中质量大、厚度大的地方对电子的散射角大,穿透过样品的电子数目较少,因此像的亮度较暗。早期透射电子显微镜的成像方式都是基于这种原理。衍射像:入射电子束被样品衍射后,因不同的衍射能力而获得不同的衍射波振幅分布。

当晶体中存在缺陷时,缺陷的衍射能力与规则排列的晶体不同,致使衍射波的振幅分布不均匀,最后反映出晶体中缺陷的分布。

   相位像:当样品薄至10nm以下时,电子可以透射过测试样品,透射电 子的波振幅变 化可以忽略,成像来自于相位的变化。

   TEM透射电子束会携带样品信息,成像设备使用这些信息来成像,将处于正确位置的电子波分布投射到观察系统上。在成像设备质量很高的情况下,图像强度j⑺近似与电子波函数的时间平均幅度成正比。