超净间的定期维护是非常必要的。清洁人员OP249GSZ-REEL必须穿着与生产人员一样的洁净服,超净间的清洁器具,包括拖把,均需仔细选择,一般家庭使用的清洁器具太脏,不可在超净间使用。使用真空吸尘器也要特别注意,真空吸尘器中的排风系统中,装有HEPA过滤器,现在已经可以在超净间中使用了。许多超净间采用内置式真空系统来减少清洁时产生的脏东西。

   擦拭工艺工作台需要使用特殊的、低污染的抹布与海绵。擦拭的程序也是非常关键的,墙面的擦拭要从上到下,桌面要从后向前。用喷壶喷洒的清洁剂,应喷到洁净布表面,而不是被清洁物表面,这样可以减少在晶圆与设备上不必要的过量喷洒。合理的净化间操作规程如表3.11所示。