洁净室内污染源是指任何影响产晶生产或产品功能的一切事物。由于固CY54FCT244ATDMB态器件的要求较高,决定了它的洁净度要求远远高于大多数其他工业的洁净程度。实际上,生产期间任何与产品相接触的物质都是潜在的污染源。主要的污染源有空气、厂务设备、洁净室工作人员、工艺使用水、工艺化学溶液、工艺化学气体和静电,每种污染源产生特殊类型和级别的污染,需要对其进行特殊控制以满足洁净室的要求。

    普通空气中含有许多污染物,一般指微小颗粒或浮尘,须经过处理后才能进入洁净室。如图3.5所示(单位是毫米)。微小颗粒(悬浮颗粒)的主要问题是在空气中长时间飘浮。而洁净室的洁净度就是由空气中的微粒大小和微粒含量来决定的.