污染物引起的问题
发布时间:2016/6/15 21:09:59 访问次数:339
(1)器件工艺成品率下降。污染改CY27H512变了器件的尺寸,使表面洁净度和平整度下降。在污染环境中制成的器件工艺成品率下降,最终导致成本上升。
(2)器件性能下降。在制造工艺过程中漏检或未能检测出的小污染可能会产生多余的化学物质和可动离子污染物,从而改变器件的性能。
(3)器件可靠性下降。污染物会停留在器件内部,引起失效,或者器件可靠性降低,有可能在将来带来无法预料的损失。
(1)器件工艺成品率下降。污染改CY27H512变了器件的尺寸,使表面洁净度和平整度下降。在污染环境中制成的器件工艺成品率下降,最终导致成本上升。
(2)器件性能下降。在制造工艺过程中漏检或未能检测出的小污染可能会产生多余的化学物质和可动离子污染物,从而改变器件的性能。
(3)器件可靠性下降。污染物会停留在器件内部,引起失效,或者器件可靠性降低,有可能在将来带来无法预料的损失。
相关技术资料- 6-15污染物引起的问题
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