提高温度,增加高温处理时间或者氧AD7892BN-3化层中磷的浓度,都会增加薄膜的流动性。当PsG中磷的浓度低于6%(重量百分比)时,流动性变得很差。BPsG(硼磷硅玻璃)之所以能替代PsG,因为它可以在较低的温度下就能回流平坦化。随着CMP的出现,回流平坦化已不是一个主要的问题,但PSG比BPsG有更好的吸杂作用,所以现在PSG的使用有回升的趋势。

   把△05加入到s⒑2中相对比较容易,可以通过调整⒏H4与PH3的比率来控制沉积薄膜中s⒑2与△05的比例。PsG在高磷情况下,有很强的吸潮性,所以氧化层中的磷最好限制在6%~8%,以减少磷酸的形成,从而减少对其下方铝的腐蚀。快速热处理过程也可以成功地实现PsG回流。如果PsG用作最终的钝化层(不需要回流平坦化),PSG中允许的磷的最大浓度为6%。采取这个措施可以防止磷酸的形成,尤其是当与Al接触的时候。