低七介质的缺陷源
发布时间:2015/11/11 19:06:25 访问次数:403
自动晶圆表面检查的另一个优势是将不同的技术结合在同一检查设备中。一个采HCPL-181-00BE样覆盖散射仪、椭圆偏振仪、反射仪与表面形貌分析一起提供表面情况的综合评估。缺陷、厚度均匀性和表面情况能够在一个检测台上被确定¨5。
铜或低露介质结合的开发对工艺已引入全新的主缺陷。161。图14. 27列出了和金属系统相关的缺陷样品。
自动晶圆表面检查的另一个优势是将不同的技术结合在同一检查设备中。一个采HCPL-181-00BE样覆盖散射仪、椭圆偏振仪、反射仪与表面形貌分析一起提供表面情况的综合评估。缺陷、厚度均匀性和表面情况能够在一个检测台上被确定¨5。
铜或低露介质结合的开发对工艺已引入全新的主缺陷。161。图14. 27列出了和金属系统相关的缺陷样品。
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