其他显微镜技术：光学技IRF5305STRLPBF术能够提供不仅是简单亮场或暗场观察的评估技术，比如：相衬和荧光显微镜。它们都允许观察者来确定表面E额外的光学信息。相衬表示垂直平面上：的不平整处；荧光显微镜使用紫外线光源，在紫外线中，有机残渣（光刻胶化学清洗物质）在L：l光下的不可见性会变得可见。一般情况下，需要培训一些高于操作员水平的技术员来学习它的用法和知识．

   扫描电镜(SEM)：传统的光学显微镜在提供精确的晶圆表面信息时其能为是有限的。首先，它们的分辨能力受其光源的限制，一个观察系统对图像系统细节的分辨能力与光线的波长有关，波长越短，能被看见的细节就越少。    

   景深是另一个观察因素，它与系统能够保持两个平面同时聚焦的能力有关．、一种传统的，具有共焦对象和不共焦背景的照片会具有大于照相机景深界限的背景。在显微镜中，当系统的放大率上升时，景深会下降。并且如果放大率增加后观察表面，感觉表面会很“近”，而且共焦时操作员不能看到表面的最高点和最低点，而且如果持续重调焦距会导致信息的丢失和检测时间的延长。

   放大率是光学显微镜的第三个限制因素。一个白光照射的光学系统其传统的物镜放大倍数仅限于1000倍以内，油浸技术虽然能使此界限有所上升，但仍然由于太脏、太慢并可能造成晶圆污染而难以接受。