对流烘箱是非自动化生产线的主要烘焙设备（见图8. 34）。它是一个在隔热封闭环境中的不锈钢反应室。环绕反应室的管道提供氮气或空气， EL5166IWZ-T7气体茌被导入反应室前先经过一个加热器加热。反应室内配有放置晶圆承片器的搁架。承片器要在箱中停留预先设定的一段时间，这时加热气体会把它们的温度升高。在超大规模集成电路( VLSI)应用中使用的对流烘箱有比例调节器和高效过滤器( HEPA)，用以保持洁净的烘焙环境。

   使用对流烘箱做软烘焙有几个缺点，其中之一是批与批之间的温度变异。这些变异来自：装载晶圆时门打开时间的长短，装载量，烘箱中所有部件达到恒定温度的不同时间。一个与对流加热相关联的工艺问题是光刻胶层的顶部有“结壳”的趋势，使溶剂存留在光刻胶中（见图8. 35）.