动态喷洒
发布时间:2015/10/31 19:12:28 访问次数:646
大亩径晶圆对均匀光刻胶膜的需求促成r动态旋转喷洒技术的研发（见图8. 30）。EL5157IW-T7对于这种技术，晶圆在以500弧度／分低速旋转的时候，光刻胶被喷洒在晶圆表面。低速旋转的作用是帮助
光刻胶最初的扩散。用这种方法我们可以用少量光刻胶达到更均匀的光刻胶膜。光刻胶扩展开之后，旋转器加速至高速来完成最终的光刻胶扩展并得到r薄而均匀的光刻胶膜。
移动手臂喷洒
动态喷洒技术的一项提高是移动手臂喷洒（见图8. 31）。手臂从晶圆的中心向晶圆的边缘缓慢移动。这个动作会给最初和最后一层带来更好的表面均匀性。移动手臂喷洒，还能节省光刻胶，特别是对于大直径晶圆。
大亩径晶圆对均匀光刻胶膜的需求促成r动态旋转喷洒技术的研发（见图8. 30）。EL5157IW-T7对于这种技术，晶圆在以500弧度／分低速旋转的时候，光刻胶被喷洒在晶圆表面。低速旋转的作用是帮助
光刻胶最初的扩散。用这种方法我们可以用少量光刻胶达到更均匀的光刻胶膜。光刻胶扩展开之后，旋转器加速至高速来完成最终的光刻胶扩展并得到r薄而均匀的光刻胶膜。
移动手臂喷洒
动态喷洒技术的一项提高是移动手臂喷洒（见图8. 31）。手臂从晶圆的中心向晶圆的边缘缓慢移动。这个动作会给最初和最后一层带来更好的表面均匀性。移动手臂喷洒，还能节省光刻胶，特别是对于大直径晶圆。
相关技术资料- 10-31动态喷洒
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