光刻胶的性能因素已经被详细地说明了，AD9927BBCZRL基本光刻十步法工艺每一步都和光刻胶的物理性质和化学性质有一定联系。而这些性质都受光刻胶生产商的严格控制。

   固体含量

   光刻胶是一种液体，它通过旋转的方式涂到晶圆表面。光刻胶留在晶圆表面的厚度是由涂胶工艺的参数和光刻胶的属性——固体含量( solid content)和黏度(viscosity)来决定的。

   光刻胶是由聚合物、光敏剂和添加剂混合在溶剂中构成的。不同的光刻胶会包含有不同数量的固体物。这个数量指的是光刻胶的固体含量，它是由光刻胶中质量百分比来表示的。固体含量的范围通常在20%—40%之间3j。

   黏度是液体流动数量上的测量。高黏度液体流动较慢，如拖拉机油。低黏度液体比较容易流动，如水。对于这两种情况，流动的机理是一样的。当液体被灌注时，液体中的分子之间相互滚动。当分子滚动时，它们之间存在一种引力。这种引起到了一种类似于内部摩擦力的作用。黏度就是这种摩擦力的度量。

   黏度可以通过几种不同的技术方法来测量。大多光刻胶生产商是通过在光刻胶中转动叶片来测量黏度的。黏度越高．在恒定速度下转动叶片所需要的力就越大。旋转叶片的测量方法说明了黏度的力相关性。

   黏度的单位是厘泊( centipoise)①（1 poise的百分之一）。它以法国科学家Poisseulle的名字命名，他研究了流体的黏滞流动。1 poise等于每厘米l达因(dyne)秒。黏度单位厘泊更准确地说明了绝对黏度( absolute viscosity)。

   另外一种单位称为运动黏度( kinematic viscosity)，它是厘斯(centistoke)②，是由绝对黏度（厘泊）除以光刻胶密度而得到的。黏度会随着温度的变化而变化；因此，它的指定值是在特

定温度条件下声明的，通常是25℃。黏度是在涂胶工艺中决定光刻胶厚度的主要参数。黏度和光刻胶固体含量密切相关。固体含量越高，光刻胶黏度就越高。