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仪器设计的精度理论

发布时间:2015/5/27 19:50:03 访问次数:627

   无论是光电仪器还是精密机械设备,其自身精度是一项重要的技术指标。XC2V3000-4BF957I随着科学技术的发展,对于光电精密仪器的精度也提出了越来越高的要求。例如在半导体工业中,64KB的随机存储器线宽为2ym~3p.m,而256KB存储器的线宽达到0.7ym,这就要求半导体的光刻设备和测试仪器本身的精度能达到亚微米级。由此可见,精度设计是仪器设计成败的关键。

   光电精密仪器的精度无论多高,总是存在着误差。进行精度分析的目的是找出产生误差的根源和规律,分析误差对仪器设备精度的影响,以便合理地选择方案、设计结构、确定参数和设置必要的补偿环节,从而在保证经济性的基础上达到较高的精度。

   仪器精度理论主要研究影响仪器精度的各项误差的来源及特性,研究误差的评定和估计方法,掌握误差的传递、转化和相互作用的规律、误差合成与分配原则,从而为精度设计提供可靠的科学依据。




   无论是光电仪器还是精密机械设备,其自身精度是一项重要的技术指标。XC2V3000-4BF957I随着科学技术的发展,对于光电精密仪器的精度也提出了越来越高的要求。例如在半导体工业中,64KB的随机存储器线宽为2ym~3p.m,而256KB存储器的线宽达到0.7ym,这就要求半导体的光刻设备和测试仪器本身的精度能达到亚微米级。由此可见,精度设计是仪器设计成败的关键。

   光电精密仪器的精度无论多高,总是存在着误差。进行精度分析的目的是找出产生误差的根源和规律,分析误差对仪器设备精度的影响,以便合理地选择方案、设计结构、确定参数和设置必要的补偿环节,从而在保证经济性的基础上达到较高的精度。

   仪器精度理论主要研究影响仪器精度的各项误差的来源及特性,研究误差的评定和估计方法,掌握误差的传递、转化和相互作用的规律、误差合成与分配原则,从而为精度设计提供可靠的科学依据。




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