1)迈克尔逊干涉仪

   图2 - 29为迈克尔逊(Michelson)干涉仪的基本原理图，从光源发出的单色光波经分束镜分为二束，GS-R412一束到达参考反射镜Mi形成干涉仪的参考臂，另一束到达测量反射镜M2形成干涉仪的测量臂，这两束光分别经Mi和M2反射后，再经分束镜合成形成干涉，应用光电检测器可以检测出参考光和测量光之间的干涉信号。干涉仪的测量臂用于感受外界被参量（如：值移、振动等）。以位移测量为例，M2移动A/，则引起干涉光强度变化次数.

   n为干涉仪所在介质的折射率；Ao为光源在真空中的波长。

   通过对n的计数以及对信号的细分处理技术就可以实现对A/的精密测量。由于光波波长在微米数量级，因此，这种测量技术可以达到很高的测量精度。

   2)马赫一泽德干涉仪

   马赫一泽德( Mach - Zehnder)干涉仪的原理如图2- 30所示。从光源发出的光，经分束镜BSi分为参考光束和测量光束，这两光束分别经反射镜Mi和M2反射后到达第二个分束镜BS2，通过BS将测量光束和参考光束合成叠加，从而产生两光束之间的干涉，应光电检测器件就可以将干涉信号检测出来。