光源的相干性是指干涉仪的光源要具有良好的时间相干性和空间相干性。

   光的时间相干性决定于光源的单色性，AD515AKH光的单色性越好，即频谱宽度越窄，时间相干性就越好；光的空间相干性取决于光源上各发光点之间的相位匹配关系。目前，激光光源的出现为光电检测技术带来了飞跃性的发展。激光光源由于具有高度的时间相干性和空间相干性，同时又具有高亮度和高方向性的特点，已成为光相位调制检测系统中最理想的光源。但由于激光的高度时空相干性，也给干涉系统带来散斑噪声，在设计中应该注意散斑噪声对干涉信号带来的影响。

   干涉光束的相干性要求是指光束满足频率相同、相位差恒定和具有相互平行的偏振分量。

   对于两束理想单色相干光干涉，若两束相干光的振幅相等，即ai=a2时，获得最大的干涉信号调制度。在理想情况，这两束相干光应具有相同的光振动方向，即偏振方向相同。在实际的干涉系统中，由于光束经过一系列的光学元件后，可能产生两束干涉光的偏振情况不同，影响到干涉信号的调制度。