问题描述

  图5-1是两个单集束型装备通过单缓冲模块耦合而成的两集束型装备。两集NDS0610束型装各由两个单集束型装备Cl和C2组成,加工模块是单晶圆加工设备,单缓冲模块作为C1和C2间的共享缓冲空间(只有一个晶圆空间),机械手旋转移动完成晶圆在装载室、加工模块和缓冲模块之间的作业。晶圆从输入装载室进入,定位后顺序经过C1的每个工位,然后通过缓冲模块进入C2,在C2完成一系列加工后,再次通过缓冲模块返回Cl,并经过冷却返回输出装载室。生产运作采用批量加工的循环式生产方式,除了要满足单集束型装备调度的条件外,还要满足两机械手在单缓冲模块中不能发生碰撞。

  在系统达到稳态后的每个生产周期内,机械手搬运作业和加工模块加工作业重复相同活动。这类问题的调度目标是确定一个周期内的一组机械手重复执行的搬运作业序列,以便最小化生产周期,也就是最大化产能。