已有的研究成果主要针对单集束型的调度,对多集束型装备调度的研究成果并不多。NCP303LSN30T1G多集束型装备的调度方法主要有基于资源的周期性分析方法、基于事件图的网络流方法及分解方法等,但已有方法都假设零机械手搬运时间,即未考虑机械手搬运时间对生产周期的影响,因此与实际的半导体生产有一定差异。在已有研究中,推导生产周期下界具有通用性,但难以利用多机械手调度中的某些约束(如无冲突约束);事件图和Pc订i网建模方法描述精细,但复杂不易理解;数学规划模型可利用运筹学方法和商业软件进行求解,但不适合求解大规模问题(10个以上加工模块)。多集束型装各的可分解性使问题分解成较小的子问题成为可能囵。

   多集束型装备调度问题可以分解为单个集束型装备调度问题,然后利用单集束型装备的求解方法进行求解,这样可以减少计算的复杂性。在不考虑机械手搬运时间条件下,把多集束型装备分解为Κ个等价的单集束型装备的调度,缓冲模块对于相邻的两个集束型装备被视为分解后的虚拟加工模块和虚拟输入/输出装载室。本章参考文献凹给出了生产周期的计算公式和基于“无等待”策略的机械手调度算法。以上方法基于某些假设条件满足时,采用单臂机械手的Pull策略规划机械手搬运作业安排。但由于多集束型装备中多个 机械手的存在及各个集束型装备之间的缓冲模块的存在,单集束型装备的结论已经不能应用到多集束型装备的情况。而且,缓冲模块也可能是具有加工能力的加工模块,这导致更多可选的调度方案,使调度问题更加复杂。本节根据两集束型装各的负载并不均衡的情况,采用基于分解方法和线性规划模型的搜索算法求解调度问题。