随着半导体制造工艺的日趋复杂,出现了由多个单集束型装备通过缓冲模块连接而成的多集束型装备。 NCP1654BD65R2G多集束型装备具有多个单臂或者双臂机械手,其调度和产能分析比单集束型装备更加复杂,主要体现在以下几方面。

   (1)缓冲模块的耦合效应复杂化了多集束型装备的调度,每个单集束型装备的调度不仅影响相邻的单集束型装备的调度,而且也影响其他不直接相邻的单集束型装备的调度。

   (2)阻塞会从一个单集束型装备传播到其他单集束型装备,导致多集束型装备的产能分析变得困难。

   (3)缓冲模块使每个单集束型装备内的晶圆数日经常发生变化。如果加工过多的晶圆有可能产生死锁,反之过少的晶圆会使某些加工模块产生饥饿。本章5.2节研究了单臂机械手的两集束型装备调度问题。考虑非零机械手搬运时间,采用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备,建立了调度问题的线性规划模型;并提出了基于分解方法和线性规划模型的搜索算法。考虑将52节的分解方法应用到多集束型装备的调度问题,将面临着分析机械手避免碰撞条件过于复杂而无法求解的问题,因此要根据多集束型装各的特点,寻找新的解决方法。与两集束型装备的缓冲模块不同:光刻工艺Track系统的缓冲模块还具有加工能力,称为缓冲加I模块(Buffcr ProccssModtlk,BPM)。缓冲加工模块使多集束型装备的结构更加紧凑,节约了设备空间和成本。多集束型装备的晶圆加工是循环生产过程,每次循环产生庀片类型相同的晶圆,机械手和加工活动再次回到初始状态,其机械手活动序列称为庀晶圆周期序列,简称庀序列,当=1称为单序列。针对多集束型装备调度的庀晶圆周期序列问题,本章5.3节提出了一种构造庀序列的策略和构造算法。