在原子力显微镜的系统中,二极管激光器发出的

激光束经过光学系统聚焦在微悬臂(cantil四cr)背面,并从微悬臂

背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器(de1cc1or),如

图16.1所示。SA1412因而,通过光电二极管检测光斑位置的变化,就能获得被测样品表面形貌的信息。在样品扫描时,由于样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用力,微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏,反射光束也将随之偏移,在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号,以供SPM控制器做信号处理c在AFM中要得到样品垂直方向约0.01A的精确度,探针和样品间距的稳定度需维持在0,001A。环境的震动振幅远远超过这个量级百万倍,囚此必须隔离环境的震动。AFM的防震设计包括两方面,一是设备与周围环境震动的隔离,二是成像装置部分本身具有较大的刚度。组合使用黏弹性的高分子橡胶和金属弹簧,以尽量过滤各种频率的振动,实现与周围环境震动的隔离。