集束型装备的约束状态
发布时间:2017/11/27 21:42:43 访问次数:531
在集束型装备的运转中,存在限R1002制装备吞吐量的两种类型的瓶颈,分别被称为传输约束和加工约束。如果机械手一直处于忙状态,当加工腔体加工完一片晶圆时,不得不等待机械手来卸载晶圆,这种情况称为传输约束。而对于加工约束,即机械手有时可能处于空闲状态,等待加工腔体完成晶圆加工。
机械手有两种操作序列,如果机械手处于卸载晶圆的腔体处,则机械手从腔体中卸载晶圆,携带晶圆移动到目标腔体处,最后加载晶圆到目标腔体中,机械手完成这一操作序列所需时间用珥表示;若机械手未处于卸载晶圆的腔体处,则机械手首先空移过去,然后完成操作序列,机械手完成这一操作序列所需时间用表示。
在集束型装备的运转中,存在限R1002制装备吞吐量的两种类型的瓶颈,分别被称为传输约束和加工约束。如果机械手一直处于忙状态,当加工腔体加工完一片晶圆时,不得不等待机械手来卸载晶圆,这种情况称为传输约束。而对于加工约束,即机械手有时可能处于空闲状态,等待加工腔体完成晶圆加工。
机械手有两种操作序列,如果机械手处于卸载晶圆的腔体处,则机械手从腔体中卸载晶圆,携带晶圆移动到目标腔体处,最后加载晶圆到目标腔体中,机械手完成这一操作序列所需时间用珥表示;若机械手未处于卸载晶圆的腔体处,则机械手首先空移过去,然后完成操作序列,机械手完成这一操作序列所需时间用表示。
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