yield leaming vchiclc与普通产品不同的地方在于,产品是design ft,r function,而yieldlcamillg vehicle是dcsign for(capturc)fad。它必须能模拟实际各种版图特征,可能有数千种版图设计组合。这对”eld learning vehiclc的设计带来极大的挑战。SG2525AN

   表17,2列举了部分常见的设计和I艺交互   表17.2常见的设计和工艺交互的的systematic失效。

   yield lcarning的第二个要素是测试。测试有=个主要方面的考虑:测试时问,测试质量和可靠性。

   如前所述,先进制程的yield lcarning vehicle由于缺陷观测能力的要求,复杂度需要和实际产品相当或更有甚之,每wafer的总DUT数在百万量级。若采用常规的串行测试,即便每DUT测试时问在O,1s,每wafer也需要几天,一个lot需要几周甚至几个月,这对于yield learning是无法接受的。快速,多通道的并行测试成为必要条件。