同样的概念不仅是Via1,也适用于其余的AA,ly,C°ntact,Metal等其余I艺层。对于yieldlearning vehicle的要求是,在一套光罩的情况下,各置艺层的微结构数都要达到甚至超过实际产品,同时还必须兼容shord∞p试验。 SFH6156-4T

   由于systematic失效往往在不同的产品上有不同的表现,靠单一逻辑或者Mcm。ry产品很难完全覆盖各种不同的版图设计,yiCld learning第二个要素是对于设计和工艺交互的systematic失效有全面  的表征能力。

  图17.21所示是一个典型的设计和△艺交互的问题,传统的用一两种逻辑或者Memory产品作为yield lear血ng vchicle,可能无法捕捉到这样的问题。