扫描系统:其作用是SA555P提供入射电子束在样品表面以及阴极射线管电子束在荧光屏的同步扫描信号。改变人射电子束在样品表面的扫描振幅,以获得所需放大倍数的扫描像。它由扫描信号发生器、放大控制器等电子学线路和相应的扫描线圈组成。

    信号检测放大系统:其作用是检测样品在人射电子作用下产△的物理信号,然后经视频放大,作为显像系统的调制信号。通常用闪烁计数器来检测二次点子、背散射电子等信号,它由闪烁体、光导管、光电倍增器等组成。当信号电子撞击并进人闪烁体时引起电离,当离子与白由电子复合时,产生可见光信号沿光导管送到光电倍增器进行放大,输出电信号经视频放大器放大后作为调制信号。这种监测系统在很宽的信号范围内具有正比于原始信号的输出,具有很宽的频带和高的增益,而昆噪音很小。