显影
发布时间:2016/8/4 20:22:03 访问次数:833
用化学显影液溶解由曝光造成的可溶区光刻胶区域的过程就是显影,其目的MC13202FC就是把掩膜板图形准确的复制到晶片表面上。如图4-11所示是LED芯片制造最常用的旋转式浸没显影,一般采用的是多次浸没分段显影的方法。
显影过程中常出现的问题如图⒋12所示,有显影不足、过显影、显影不完全等常见问题。显影液温度、显影时间、显影次数、每次显影液的量等均是显影时的关键参数。对于正胶,温度越低,正胶的溶解率越大,对于负胶,则相反。显影时间长短、显影的次数、每次显影液的量直接影响显影的效果。
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用化学显影液溶解由曝光造成的可溶区光刻胶区域的过程就是显影,其目的MC13202FC就是把掩膜板图形准确的复制到晶片表面上。如图4-11所示是LED芯片制造最常用的旋转式浸没显影,一般采用的是多次浸没分段显影的方法。
显影过程中常出现的问题如图⒋12所示,有显影不足、过显影、显影不完全等常见问题。显影液温度、显影时间、显影次数、每次显影液的量等均是显影时的关键参数。对于正胶,温度越低,正胶的溶解率越大,对于负胶,则相反。显影时间长短、显影的次数、每次显影液的量直接影响显影的效果。
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