栅极加上负偏置应力电压,电压值DSEE55-24N1F的大小由斜坡电压确定,该负栅偏置应力电压一般应大于最高工作电压‰slllax,小于1,5倍的其他各极接地,避兔过量的隧穿应力,如图l1.15所示。

   在最高工作温度下进行测试(如125℃),应力测试期间,温度的稳定度要达到±2℃,当需要测量激活能时,可以采用更高一些的温度。多次应力循环测量时,时间的准确度要达到圭1%。应力循环测量期间,中间测量的时间必须最少。

   高温下,只在栅极施加应力,源极、漏极和衬底均接地。以阈值电压的漂移量作为器件退化的失效判据。

   负偏置温度不稳定性(NBTI)坝刂试。用于测量高温和负栅偏置条件下阈值电压的退化,这种退化特别容易发生在具有2层多晶工的PMOs器件中,随着温度的上升而增加。在具有特征尺寸的器件上进行测试时,需要注意的是,这种退化方式一定程度上会受到沟道长度的影响。blBTI效应的测量方法如表11.15所示。