沟道开启后,当漏极电压进一步增大时,会使栅电压被抑制。在漏端附近的反型层将最终消失,CAP008DG或者说靠近漏端的si/s02界面的沟道载流子浓度开始等于衬底掺杂浓度时可以看成沟道的夹断。这时漏极上所对应的电压称为夹断电压‰“s⑾,当漏电压超过夹断电压时,沟道夹断部分会增宽,夹断部分从很小增大到△L的长度。夹断区载流子很少,电导较小,超过‰“s⒆的电压部分主要降落在这里。进入夹断状态后,增加漏极电压会使夹断点向源端移动。但漏电流不显著增加或基本不变,达到饱和,这时所对应的漏极电流称为%※s⑾。在实验中为了避免引入二次误差,采用卜/曲线对饱和区漏源电流进行提取。但由于存在沟道调制效应和短沟道效应,器件在夹断后几s⑾不会一成不变,而是随着漏电流的增大而缓缓增大,如图9.26所示。理想的几义satl在夹断后随漏极电流的变化是比较小的,可以忽略。但在实际情况下,测量的「/曲线和理想值偏差较

大,所以就要运用其他方法获得兔鼠s⒆。在本处采取导数拟合的方法来处理。在漏端电压不是很大的情况下,发现「/曲线的一阶导数呈现初期增长明显、后期基本趋近于常数的特性,如图9,27所示。