电阻的温度系数TCR(Γ):测试线电阻随温度的变化量,或相同金属化的类似结构在某一特定温度条件下,DSEC60-03AQ每单位温度的电阻变化量,如JESD33中所描述的方程:

    R(‰f)是参考温度下的测试线电阻;%f是参考温度。

    TCR(o以参考温度为定义依据。值得注意的是,在参考温度下不一定需要测量测试结构的电阻值。参考温度通常有两种选择方式,即0℃或环境温度(典型值为24~”℃),两种方式是等效的,0℃便于不同实验室间或同一实验室不同时间试验的比较。

TCR(r)的值可能随批次的不同而不同,甚至同一圆片内的TCR(T)也可能不同。虽然确定每个测试样品的TCRσ)不是很实际,但变化的存在却可构成混淆因 素。因此建议在某一工艺过程中对选定样品进行最小周期的观察,最好使用与试验中一样的结构。