模型参数/、尻需要进行试验提取。在一恒NTB75N06定电场下,分别在3个不同的温度点测量一批栅氧化层的寿命,在对数正态坐标上提取中位失效时间π1、%l和%1,在半对数坐标上画出中位寿命△1、%l和%l与温度的倒数√石、√马和√冗的对应关系,该对应关系拟合曲线的斜率就是激活能Ea。

   在一恒定的温度下,分别在3个不同的电场点测量―批栅氧化层的寿命,在对数正态坐标上提取中位寿命码2、%2和‰,在半对数坐标上画出中位失效时间△2、‰和‰与电场几烟、εⅨ2和几x3的对应关系,该对应关系拟合曲线的斜率就是电场加速因子‰对于深亚微米CMOs工艺,需要对提取出的电场加速因子/进行修正,修正

后得出的值在l~2之间。图11.9所示是栅氧化层TDDB击穿时间与几x的关系。