测试要求
发布时间:2016/7/3 17:35:35 访问次数:350
选择最小几何尺寸的器件,宽度可根据需要进行选择,在最坏的偏置应力条件下进行热载流子注入效应的测量,需要考虑如下的几个因素: NDP7052确定最坏的偏置应力条件;选择适当的器件参数来测量器件的退化程度;选用适当的加速模型来推算器件在正常工作条件下的寿命。主要的退化参数有阈值电压、跨导、线性区漏极电流和饱和区漏极电流。
工艺上虽然采用了LDD结构等方法提高了器件抗热载流子退化的能力,但热载流子效应仍然是影响亚微米和深亚微米集成电路可靠性的重要因素。热载流子效应的影响不是一开始就很严重,而是随着时间逐渐引起器件参数的退化。测试方法如表11.6所示。
选择最小几何尺寸的器件,宽度可根据需要进行选择,在最坏的偏置应力条件下进行热载流子注入效应的测量,需要考虑如下的几个因素: NDP7052确定最坏的偏置应力条件;选择适当的器件参数来测量器件的退化程度;选用适当的加速模型来推算器件在正常工作条件下的寿命。主要的退化参数有阈值电压、跨导、线性区漏极电流和饱和区漏极电流。
工艺上虽然采用了LDD结构等方法提高了器件抗热载流子退化的能力,但热载流子效应仍然是影响亚微米和深亚微米集成电路可靠性的重要因素。热载流子效应的影响不是一开始就很严重,而是随着时间逐渐引起器件参数的退化。测试方法如表11.6所示。
相关技术资料- 7-3测试要求
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