标准评价电路(standard Eva丨uaUOn Circuit, SEC)

   承制方应具有包含准备认证的技术或工艺的SEC。承制方的sEC应用于证明技术制造工艺可靠性。SEC设计文件应包含:设计方法、DAC08ES设计软件、所执行的功能,以及依据所用晶体管或门的数量得出的尺寸和其性能的模拟。SEC和实际器件的文件化程序应是相同的,以便可以得出其相关性。sEC可以是专门设计的质量与可靠性的监控样品,也可以是系统中使用的实际产品。sEC应包含下述要求:

   ①复杂度,数字器件sEC的复杂度应至少包括QML线上要制造的最大规模器件所含晶体管数目的一半。对于模拟器件,SEC应体现工艺技术流程的功能,具有典型的复杂度,并且电路单元由电路的主要类型组成。

   ②功能性,sEC应包含全功能电路,其测试和筛选应采用与QML器件相同的方式。

   ③设计,SEC的设计应重点突出设计能力,SEC的结构应有助于失效的判

   ④sEC应在申请或已经获得QML认证的晶圆生产线上进行加工。

   ⑤封装,SEC应封装在检验合格的外壳中。