当互连引线中通过大电流密度时,因为凡和电子流动方向相同,而Fq和电子流动方向相反且凡丹,所以金属原子受到电HBAA-40W-A 子风力的驱动,产生了从阴极向阳极(沿着电子流动的方向)的受迫定向扩散,即发生了金属原子的电迁移,而空位(Vacancy)则沿着相反的方向移动。

   由于空位的产生(和金属原子电迁移同步),电迁移就有了另一个快速移动的通道――离子和空位的交互(Ion~vacancy jump proccss)。在多晶金属薄膜中,由于晶界及金属薄膜与电介质层、扩散阻挡层的界面或者表面存在大量空位,因此其电迁移激活能远低于相应的块状材料。

   是等效电荷数;E为电场强度;g为电子电荷。于铂、钴、金、铝材料,其z咔分别为+0.3、H。6、 8、一30;负的Z是电子风,使金属离子向正极移动,z为正值是“空穴”风,使金属离子向负极方向

迁移。z艹的绝对值越小,贝刂抗电迁移能力越强。表5.3列出了一些金属材料的z值。