晶圆表面的颗粒大小可由从约50um大变化到小于1um。大的颗粒可用传统的化学浸泡池和相应的清水冲洗除去。OP262GS较小的颗粒被几种很强的力量吸附在表面,所以很难除去。一种是范德华吸引力,它是由―个原子中的电子和另一个原子的核之间形成的很强的原子间吸引力。尽量减小这种静电引力的技术是控制垂直电势的变量。垂直电势是在颗粒周围的带电区与清洁液中带相反电荷的带电区域形成平衡的 平衡电势。该电势随着速度(当晶圆在清洗池中移动时清洗液的相对移动速度)、溶液的pH值和溶液中电解质的浓度变化而变化的。同时,它还会受到清洗液中的添加剂,如表面活性剂的影响。可以通过设定这些条件来得到与晶圆表面相同电性的较大电势,从而产生排斥作用,使得颗粒从晶圆表面脱落而保留在溶液中。

   表面张力引力是另外一个问题。它产生了颗粒与表面之间形成的液体桥,如图3.8所示。表面张力引力可以比范德华引力大。表面活性剂或一些机械的辅助(如超声波)被用来去除表面的这些颗粒。