饼式热感应APCVD
发布时间:2015/11/6 19:52:57 访问次数:393
饼式或垂直APCVD系统受到小型生产线和R&D实验室的钟爱（见图12. 14）。AD7549SQ在该系统中，晶圆被放置在旋转的石墨托架上，并通过托架下面的射频线圈，以传导感应的方式给晶圆加热．，反应气体通过管路流入，在晶圆的上方流出。垂直气流具有持续供应新反应气体的优点，从而将向下流动的气体的损耗降到最小。旋转和垂直气流的结合产生良好的薄膜均匀性。类似于水平炉管式系统，饼式能够容纳的晶圆数量有限，在较小系统中的生产率受到限制。
双子星座( Gemini)研究公司提出了饼式设计的生产型的变种，反应室采用电阻式辐射加热和是否具有机械手自动装载功
能的大容量托架。
饼式或垂直APCVD系统受到小型生产线和R&D实验室的钟爱（见图12. 14）。AD7549SQ在该系统中，晶圆被放置在旋转的石墨托架上，并通过托架下面的射频线圈，以传导感应的方式给晶圆加热．，反应气体通过管路流入，在晶圆的上方流出。垂直气流具有持续供应新反应气体的优点，从而将向下流动的气体的损耗降到最小。旋转和垂直气流的结合产生良好的薄膜均匀性。类似于水平炉管式系统，饼式能够容纳的晶圆数量有限，在较小系统中的生产率受到限制。
双子星座( Gemini)研究公司提出了饼式设计的生产型的变种，反应室采用电阻式辐射加热和是否具有机械手自动装载功
能的大容量托架。
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相关技术资料- 11-6饼式热感应APCVD
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