在集成系统中， EL5167IWZ-T7使用单片晶圆熟板在生产率上的局限在于旋转步骤的总体时间。典型的旋转时间为25—40 s，这就意味着要想使晶圆连续不停地“流动”，软烘焙就必须在这个时间范围内完成。这个时间长度对某些光刻胶和某些工艺来说太短了。解决这个问题的一个方法就是使用移动带式热板。把晶圆放到加热过的移动钢带上，设定温度和钢带速度以满足软烘焙的要求。这样就可以使晶圆连续不断地“流动”。

   对快速、均匀和不结壳的软烘焙方法的渴望，使得红外(IR)辐射源得以发展（见图8.37）。红外烘焙比传导式烘焙要快得多，而且是“由内至外”加热的。由外至内烘焙就是利用传导式热板烘焙的原理。红外波穿过光刻胶涂层，但并不将其加热。很像是日光穿过一扇窗，但并不给窗加热．，然而，晶圆吸收了能量，变热，继而从底部加热光刻胶涂层。